Mètode de fabricació del dispositiu MEMS

camp tècnic

1. La present descripció es refereix a un dispositiu de mems amb una distribució de l'estrès millorada.

Tècnica de fons:

2. Com és ben sabut, els dispositius electrònics mems ("Micro Electro Mechanical Systems"), com ara actuadors i/o sensors, es formen normalment sobre un substrat que allotja una cavitat i inclouen estructures mòbils suspeses de la cavitat superior i limitades per l'elasticitat. element a la zona fixa. El substrat, l'estructura mòbil i l'element elàstic poden ser integrals i normalment es formen a partir d'un material semiconductor com el silici.

3. Aquests dispositius electrònics també inclouen: una o més estructures d'accionament i/o detecció, acoblades a l'estructura mòbil; i circuits de control elèctric, integrats en el mateix substrat o formats en substrats diferents i l'acoblament a l'estructura d'accionament i/o detecció pot proporcionar senyals d'accionament elèctric a l'estructura d'accionament i/o rebre senyals de detecció elèctrica de l'estructura de detecció.

4. En detall, l'estructura d'accionament pot provocar el desplaçament, per exemple, la rotació, de l'estructura mòbil quan està controlada per un senyal d'accionament elèctric corresponent. De la mateixa manera, l'estructura de detecció està configurada per generar els corresponents senyals elèctrics que són una funció de les condicions de funcionament de l'estructura mòbil, i per exemple, una funció del rang de rotació de l'estructura mòbil.

5. El circuit de control elèctric i l'estructura d'accionament i/o detecció solen estar connectats elèctricament entre si per pistes conductores, per exemple, formades a partir d'una pila de capes conductores.

6. Els rails conductors generalment s'estenen sobre zones fixes, elements elàstics i, de vegades, parcialment sobre estructures mòbils.

7. En ús, el desplaçament de l'estructura mòbil provoca la deformació, per exemple, la torsió, dels elements elàstics que confinen l'estructura mòbil a la zona fixa.

Contacta amb nosaltres:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: més 86-755-23699351

Mob: més 8618666663894